第304章 突破性进展第四代同步辐射装置!
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“目前,第四代同步辐射光源技术,已经有突破性进展了。”
“我们已经向科技部门提交了相关技术验证。”
“最迟……今年下半年,可能就需要投建第四代同步辐射装置,进一步验证SRF-FEL-EUV光刻厂项目。”
“……”
在同步辐射研究所。
李易了解到整个项目的核心:第四代同步辐射光源已经有突破性进展。
如此一来,想要真正研究和利用,要使用EUV光源制造7nm制程以下的芯片。
就需要第四代同步辐射装置。
“建!”
“资金方面不用担心,今年研发投入中,不包含第四代同步辐射装置建设费用。”
“硬件设备的建设费用我另外出。”
“不过,我希望同步辐射装置,能不能建设在沅江市?”
李易提出了自己的一个要求。
当初他也跟夏科院这边说过,投建同步辐�
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